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半導體制造工序

這是一份加工技術的清單,在現代電子設備的整個建造過程中被多次采用;這份清單不一定意味著具體的順序。執(zhí)行這些工藝的設備是由少數幾家公司制造的。所有的設備都需要在半導體制造廠開工前進行測試。[31] 這些工藝是在集成電路設計后進行的。

晶片處理

濕法清洗


用丙酮、三氯乙烯和超純水等溶劑清洗


Piranha溶液


RCA清洗


表面鈍化


光刻技術


離子植入(將摻雜物嵌入晶圓中,形成導電性增加或減少的區(qū)域)


蝕刻(微細加工)


干法蝕刻(等離子體蝕刻)


反應性離子蝕刻(RIE)
深度反應性離子蝕刻

原子層蝕刻(ALE)


濕法蝕刻


緩沖氧化物蝕刻


等離子灰化


熱處理


快速熱退火


熔爐退火


熱氧化


化學氣相沉積(CVD)


原子層沉積(ALD)


物理氣相沉積(PVD)


分子束外延(MBE)


激光解除(用于LED生產[32])


電化學沉積(ECD)。見電鍍


化學-機械拋光(CMP)


晶片測試(使用自動測試設備對電氣性能進行驗證,在這一步驟中還可能進行分片和/或激光修剪)


模具準備


硅通孔制造(用于三維集成電路)


晶圓安裝(使用切割膠帶將晶圓安裝在金屬框架上)。


晶圓回磨和拋光[33](對于像智能卡或PCMCIA卡這樣的薄型設備或晶圓鍵合和堆疊,減少晶圓的厚度,這也可能發(fā)生在晶圓切割過程中,稱為先切割后研磨或DBG[34][35])。


晶片粘接和堆疊(對于三維集成電路和MEMS)。


再分配層的制造(對于WLCSP封裝)。


晶圓凸起(對于倒裝芯片BGA(球柵陣列)和WLCSP封裝)。


芯片切割或晶圓切割


IC封裝


芯片附著(使用導電膏或芯片附著膜將芯片附著在引線框架上[36][37])


IC粘接。電線鍵合、熱聲鍵合、倒裝芯片或膠帶自動鍵合(TAB)。


IC封裝或集成散熱器(IHS)安裝


模塑(使用特殊的模塑化合物,可能含有玻璃粉作為填充物)


烘烤


電鍍(在引線框架的銅引線上鍍上錫,使焊接更容易)。


激光打標或絲網印刷


修剪和成型(將引線框架相互分離,并彎曲引線框架的引腳,以便將其安裝在印刷電路板上)。


IC測試


此外,還可以進行諸如賴特蝕刻等步驟。

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